MEMS传感器在气体检测中的应用及优势分析-[db:标签3]

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MEMS传感器在我们的生活中应用已经非常广泛,大到汽车,小到手机、可穿戴手环,以及无人机监测等都使用了大量的MEMS传感器,因此业内人士也非常看好MEMS的发展前景。

首先先来解释什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做“微机械机电系统”。 随着智能手机等电子产品集成的功能越来越多,不同功能的芯片集成到一起更能缩小体积,有利于产品设计.

使用MEMS技术的好处

1.原材料价格低廉,产量充足。

大部分集成电路和MEMS的原材料是硅(Si),这个神奇的VI族元素可以从二氧化硅中大量提取出来。而二氧化硅是什么?说的通俗一点,就是沙子。沙子君在经历了一系列复杂的加工过程之后,就变成了单晶硅,长这个样子:

MEMS驱动器和传感器大部分都含有微机械机构。试想一下,我们要检测一个一微米长的弹簧移动了一纳米(微米尺度的悬臂梁在纳米尺度的范围内移动),这种加工精度在传统机械加工工艺上面是难以实现的。正因为有了MEMS技术,现在我们可以使数以万计的MEMS芯片(有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工)出现在了每一片wafer上面.

隔离人为因素,确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制,从而提高了良品率。切片、封装之后,就成为了一个个的MEMS芯片。从外观上来看,大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。

MEMS现在应用广泛、发展前景较好,但是它的可靠性和精度并不能达到某些传统工艺的标准,但是前途也是不可限量的。

MEMS气体传感器应用广泛:

汽车系统

汽车集成辅件等需要检测,等新能源气体传感器中,需要用到MEMS传感器及模组。

智能手机

三星手机为例,三星S7在9轴组合、气体传感器、自动变焦、微型扬声器、触摸屏、红外线传感器、紫外线传感器等方面有用到传感器。

环境监测

净化口罩

适用范围包括对流量压、温度、湿度、颗粒物、硫化物、碳化物、酒精目标感知及对传输、感知的多功能集成等。

医疗设备

适用范围包括可穿戴设备中对体温、血压、心电、脑电、血糖的检测,对温度、气压、湿度的环境感知;可植入设备中对心压、眼压、血压传感器、起搏器、除颤器、胃液刺激器、人工耳蜗、视网膜的使用等;微创手术中对触觉、压力、温度、位置的应用等。

其他

汽车电子MEMS传感器的应用移动终端、游戏机、遥控器等设备上,MEMS传感器可以实现先进的功能。

交通中智能交通、气体传感器监测;能源中智能电网、多传感器数据;化工中安全及生产气体等。

技术专区

  • MEMS传感器在气体检测中的应用及优势分析
  • IC工艺,CMOS工艺,MEMS工艺有什么关系和区别?
  • 「MEMS解读」MEMS微制造工艺简介
  • 压力传感器和温度传感器在血液透析仪中有着什么重要作用?
  • 详细解析MEMS麦克风,原来智能语音是这个样子

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